Service de fabrication de micro-fonderie

 

Photomasque

Procédé de lithographie

Procédé de gravure sèche et mouillée

Procédé de gravure profonde ICP

Déposition de couches minces

 

Figure 1.  Système de gravure profonde ICP

scan2.jpg (27219 bytes)

           Figure 2.  Procédé de lithographie

 

scan3.jpg (25404 bytes)

              Figure 3. Procédé de gravure sèche

 

scan1.jpg (24058 bytes)

               Figure 4.  Déposition de couches minces

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Mise à jour : Juillet 2003

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